Азот{0}}високе чистоће се користи као заштитни и носећи гас у производњи интегрисаних кола, полупроводника и вакуумских електронских уређаја; служи као гас носач у хемијском таложењу паре; носи гас у течним дифузионим изворима; и делује као заштитни гас за уређаје у-дифузионим пећима на високим температурама.
Азот{0}}високе чистоће се користи као гас за померање, сушење, складиштење и транспорт у процесима као што су епитаксија, фотолитографија, чишћење и испаравање. За производњу катодних цеви потребна је чистоћа азота од 99,99% или више. У ваздухопловној технологији, системи за допуњавање течним водоником прво морају да се испуне азотом високе{4}}чистоће, а затим хелијумом високе -чистоће.
У децембру 2025. Државна управа за регулацију тржишта одобрила је и објавила национални стандардни материјал за азот високе{1}}чистоће, који се користи у кључним процесима као што су чишћење, гравирање и таложење у производњи полупроводничких уређаја, као и у процесима као што су фотолитографија, имплантација јона и оксидација у производњи интегрисаних кола.